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摘要:
利用飞秒脉冲激光对单晶硅进行辐照,研究了在不同环境(纯水和空气)和能量密度条件下激光刻蚀过后硅片的光致荧光特性。对于辐照后的硅片,利用了场发射扫描电子显微镜(FESEM)、能谱仪(EDS)、傅里叶红外光谱仪(FT-IR)、光致荧光光谱仪(PL)进行表征。结果显示:在空气中样品表面形成了条纹状微结构,纯水中硅片表面生成了尺寸更小的珊瑚状微结构;激光刻蚀后在硅片表面的生成物主要是SiOx(x<2),在纯水中处理后硅片氧元素的含量接近是空气中的4倍;傅里叶变换红外透射谱中主要为Si-Si键(610 cm-1)和Si-O-Si键(1105 cm-1)的振动;在空气和纯水中激发出的荧光均为蓝光(420-470 nm),在各自最佳激发波长下,纯水中荧光强度比空气中强2到3倍,但是在可见光范围内荧光峰的位置和形状都基本没有发生变化。研究表明:氧元素在光致发光增强上起着重要作用,光致发光最主要是由形成的氧缺陷SiOx (x<2)导致的,生成低值氧化物SiOx的多少决定了发光的强弱。
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内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 飞秒脉冲激光辐照对硅发光性能的影响
来源期刊 物理学报 学科
关键词 飞秒脉冲激光 单晶硅 光致发光 氧缺陷SiOx
年,卷(期) 2014,(5) 所属期刊栏目 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
研究方向 页码范围 057801-1-057801-8
页数 1页 分类号
字数 语种 中文
DOI 10.7498/aps.63.057801
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研究主题发展历程
节点文献
飞秒脉冲激光
单晶硅
光致发光
氧缺陷SiOx
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
半月刊
1000-3290
11-1958/O4
大16开
北京603信箱
2-425
1933
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
总被引数(次)
174683
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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