线照明并行谱域光学相干层析成像系统与缺陷检测应用研究

• 作者: 丁志华 倪秧 李鹏 沈毅 赵晨 陈志彦
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 光学相干层析成像 线照明 并行探测 在线检测
• 年，卷（期）: 2014,（19）
• 所属期刊栏目: 电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学
• 页码范围: 194201-1-194201-7
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.63.194201

摘要

针对玻璃缺陷在线无损检测的迫切需求,本文报道了一种基于线照明并行谱域光学相干层析成像系统的大视场检测系统.该系统采用快速面阵CMOS相机,单次拍摄即可获取完整的横截面(B-scan)图像.基于线照明面阵探测器的并行谱域光学相干层析成像系统,可以同时获取沿线照明方向各位置处的深度分辨信息,避免了横向扫描机构的应用.研制系统的轴向分辨率为17.9μm,并行方向上的横向分辨率55.7μm,扫描方向上的横向分辨率为24.8μm,轴向扫描速率为128000 A-scan/s,横向视场为32 mm,空气中成像深度大于6 mm,成像灵敏度达到62 dB以上.利用研制的线照明并行谱域光学相干层析成像系统,开展了不同类型玻璃表面及其内部缺陷的检测应用研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁志华	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室光电信息工程学系	59	600	16.0	21.0
2	沈毅	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室光电信息工程学系	105	1092	16.0	27.0
3	赵晨	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室光电信息工程学系	22	300	8.0	17.0
4	李鹏	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室光电信息工程学系	53	681	16.0	24.0
5	陈志彦	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室光电信息工程学系	3	18	2.0	3.0