金属有机源化学气相沉积法生长氧化锌薄膜中氢气的作用及其机理

• 作者: 叶建东 姚峥嵘 张阳 朱顺明 毛昊源 郑有炓 陈斌 顾书林 顾然 黄时敏
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 金属有机源化学气相沉积外延生长 氧化锌 不同氧源 氢气影响
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 118103-1-118103-7
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.63.118103

摘要

本文重点探讨了金属有机源化学气相沉积生长ZnO薄膜中氢气的作用与机理。研究表明氢气对ZnO薄膜的结构与性质具有重要的影响。当采用叔丁醇为氧源时，氢气对ZnO薄膜的晶体质量，表面结构和发光性质主要产生负面的影响，同时发现氢气的加入有助于抑制碳的沾污。而当采用笑气为氧源时，测量显示表面变光滑，晶体质量得到提高，发光强度也得到提升。氢气在笑气作为氧源生长ZnO的过程中基本起到了正面的作用。论文最后从氢气降低生长表面能量，提高表面原子迁移能力但存在表面腐蚀作用的方向以上结果给予了较好的解释。研究显示MOCVD生长高质量ZnO薄膜中氢气的优化具有特别重要的意义。