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摘要:
22nm以后的晶体管技术领域,靠现行Bulk MOSFET的微细化会越来越困难的,有几种改进工艺,目前有多种新器件结构可供选择,如FinFET、3栅结构、纳米线和ET-FD-SOI。下面将重点分析下其他半导体公司在22nm节点或是20nm半节点上的一些动态进展,以供我们在研发定性能参数做参考。
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文献信息
篇名 晶体管技术领域趋势分析
来源期刊 电子测试 学科
关键词 晶体管 改进工艺 动态进展
年,卷(期) 2014,(11) 所属期刊栏目 科技论坛
研究方向 页码范围 123-125
页数 3页 分类号
字数 1680字 语种 中文
DOI
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序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 时海鑫 河海大学商学院 2 2 1.0 1.0
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研究主题发展历程
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晶体管
改进工艺
动态进展
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期刊影响力
电子测试
半月刊
1000-8519
11-3927/TN
大16开
北京市100098-002信箱
82-870
1994
chi
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19588
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63
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