微机械加速度传感器可靠性设计与实现

• 作者: 李艳梅
• 来源期刊: 电子测试
• 关键词: 微机械 加速度传感器 可靠性 性能
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 设计与研发
• 页码范围: 26-27
• 页数: 2页
• 字数: 1658字
• 语种: 中文

摘要

本文通过对电容式微机械加速度传感器的原理进行分析，针对影响传感器性能的非欧姆接触因素进行分析，从而进行关于微机械加速度传感器的温度补偿电路设计，通过稳定性测试手段来验证本文设计的可靠性与可行性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李艳梅		11	27	3.0	5.0