高精度大口径球面干涉仪光学系统的设计探讨

• 作者: 崔庚彦 贺军峰
• 来源期刊: 技术与市场
• 关键词: 干涉仪 非球面 光学系统 高精度
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 技术研发
• 页码范围: 46-47,49
• 页数: 3页
• 字数: 3180字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-8554.2014.04.024

摘要

试图自行设计制造价格低廉，实用性强的大口径球面干涉仪，并可推广应用于大部分科研生产单位，解决大尺寸光学零件加工中的面型测试问题。通过对平面干涉仪的各种型式的比较和选择，达到精确测量高精度大口径光学元件的目的。采用反射式平行光管式的卧式斐索干涉仪，标准镜采用非球面消色差，光学元件少，结构简单。采用共路干涉降低了外界干扰对测量的影响，同时共光路干涉也可降低干涉仪各光学元件加工面形精度的要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔庚彦		14	22	3.0	4.0
2	贺军峰		9	9	2.0	2.0