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铸锭炉设备的结构研究
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摘要：
本文对多晶硅铸锭炉的设备进行了研究，主要是对钢结构平台及炉体、加热隔热系统、真空与供气系统、水冷却系统、电源供应与控制系统、电控系统及上下料机构方面进行了详细的分析。
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研究主题发展历程
节点文献
多晶硅铸锭炉
加热器
结构
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
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期刊影响力
科学时代
主办单位：
海南省科学技术咨询服务中心
出版周期：
半月刊
ISSN：
1005-250X
CN：
46-1039/G3
开本：
16开
出版地：
北京市
邮发代号：
24-165
创刊时间：
1993
语种：
chi
出版文献量（篇）
29981
总下载数（次）
66
总被引数（次）
7910
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