薄膜压电性能的测量方法

• 作者: 陈晓杰
• 来源期刊: 产业与科技论坛
• 关键词: 压电薄膜 压电性能 测量方法
• 年，卷（期）: 2014,（13）
• 页码范围: 58-58,59
• 页数: 2页
• 字数: 1638字
• 语种: 中文

摘要

压电薄膜在微传感器和微致动器方面的应用日益受到重视。薄膜压电性能的测量方法与体材相比有很大不同。本文介绍了几种测量薄膜压电特性的方法，包括：激光干涉仪法，扫描探针显微镜法，垂直加载法等，并比较了这些方法的优缺点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈晓杰	南京邮电大学通达学院	1	0	0.0	0.0