掺Sb衬底外延片厚度测量及误差分析

• 作者: 封慧峰 常素珍 肖凌
• 来源期刊: 科技风
• 关键词: 掺Sb衬底 厚度 误差
• 年，卷（期）: 2014,（13）
• 所属期刊栏目: 科技前沿
• 页码范围: 54-55
• 页数: 2页
• 字数: 1096字
• 语种: 中文

摘要

通过对不同测试机台进行对比，找出了各个机台厚度测量的最优测试方案；通过对红外膜测量厚度波峰的研究，缩小了掺Sb衬底外延层厚度测量偏差。对生长工艺进行改善，增大了红外干涉峰的强度，提高了红外膜厚度测试效率！