气流量和水分压对金属有机沉积法制备YBa2Cu3O7-δ膜织构及超导性能的影响

• 作者: 刘志勇 张倩倩 舒刚强 范峰 蔡传兵 赵苏串 郭艳群
• 来源期刊: 低温物理学报
• 关键词: TFA-MOD DEA 气流量 水分压
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 语种: 中文

摘要

气流量和水分压是影响添加DEA的三氟乙酸-金属有机沉积(TFA-MOD)法制备YBa2Cu3O7-δ(YBCO)膜织构及超导性能的两个重要参数.本文详细的研究了这两个参数对YBCO膜织构及超导性能的影响.在保证其他参数条件不变的情况下,气流量和水分压的变化范围分别为0.5～2.0 L/min和2.3～7.3％.气流量在0.5 L/min到2.0 L/min变化范围内均可获得优良的工艺过程;同时水分压在3.7～5.3％的变化范围内(对应适当的生长速率)时可观察到织构良好,表面致密,超导性能优良的YBCO膜.较低或较高的水分压会导致a轴取向的显著增多.最终,本文将气流量和水分压两个工艺参数对YBCO膜的交叉影响绘制成相图.结果表明,过高或过低的生长速率会导致更多的a轴取向成核.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡传兵		34	94	5.0	9.0
2	刘志勇		25	75	3.0	8.0
3	赵苏串		7	46	3.0	6.0
4	范峰		9	14	2.0	3.0
5	郭艳群		6	0	0.0	0.0
6	张倩倩		6	3	1.0	1.0
7	舒刚强		1	0	0.0	0.0