脉冲激光沉积法制备SrMnO₃薄膜

• 作者: 卢鑫 杨浩 汤如俊
• 来源期刊: 应用物理
• 学科: 物理学
• 关键词: SrMnO₃ 脉冲激光沉积 外延薄膜
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: O48

摘要

本文在采用固相反应法的基础上使用两步法制备出了较高纯度单相多晶SrMnO3靶材,并利用脉冲激光沉积法在SrTiO3(001)衬底上使用不同的实验条件尝试制备SrMnO3薄膜。结果表明在较高的衬底温度(≥700℃)和适当的氧压(5 Pa左右)条件下能够生长出结晶性较好的SrMnO3薄膜。本文通过X射线衍射和同步辐射X射线衍射手段确定了SrMnO3薄膜在SrTiO3(001)衬底上的外延生长,其取向关系为SrMnO3(001)//SrTiO3(001)。X射线光电子能谱分析显示薄膜中的Mn元素存在+3价和+4价两种价态,其中大部分为+4价,占所有Mn元素的90%左右。Mn元素+3的价态存在的原因可能是薄膜生长过程中的缺陷以及薄膜中氧空位的存在。薄膜中氧元素的XPS图谱表明氧元素主要以晶格氧的形式存在。XPS图谱中氧元素另一个峰有可能是由于缺陷、吸附氧或氧空位的存在引起的。SrMnO3单相薄膜的制备和测试为对其进一步研究奠定了基础。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨浩	苏州大学物理与光电·能源学部	6	0	0.0	0.0
2	汤如俊	苏州大学物理与光电·能源学部	6	0	0.0	0.0
3	卢鑫	苏州大学物理与光电·能源学部	1	0	0.0	0.0