一种小型微波等离子炬装置

• 作者: 吴喆 彭志伟 曾葆青 温卓宾
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 同轴谐振腔 微波谐振炬点火器 微波等离子体
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 其他
• 页码范围: 63-66
• 页数: 4页
• 分类号: TN103
• 字数: 1588字
• 语种: 中文

摘要

简要介绍了微波等离子体以及微波谐振炬点火器的应用研究情况.基于四分之一波长同轴谐振腔基本理论,采用电磁仿真软件HFSS设计出的一种微波等离子炬装置,在输入功率为5W,腔体内电场可达到30 kV/em(标准气压下空气被击穿的电场强度),从而产生微波等离子体.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾葆青	电子科技大学物理电子学院	50	149	7.0	8.0
2	吴喆	电子科技大学物理电子学院	11	18	2.0	3.0
3	彭志伟	电子科技大学物理电子学院	3	8	2.0	2.0
4	温卓宾	电子科技大学物理电子学院	1	2	1.0	1.0