高精度磁浮式定位平台控制问题研究

• 作者: 张和洪 龙志强
• 来源期刊: 黑龙江大学工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁悬浮 定位平台 自抗扰控制
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 机电工程与自动化
• 页码范围: 84-92
• 页数: 9页
• 分类号: TH703.8
• 字数: 8063字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13524/j.2095-008x.2015.03.052

摘要

高精度定位平台是光刻机、纳米测量与加工、微装配等微观领域技术的核心部件。磁浮式定位平台由于运动平台和驱动机构采用非接触式的磁浮技术，消除了两者间的摩擦、磨损等对运动精度造成的影响，提高了定位精度，成为近年来国内外精密定位技术研究的热点。简述国内外磁浮式定位平台的发展与研究现状，提出一种三点悬浮式的单运动部式的磁浮式定位平台，建立其悬浮方向上的单电磁铁模型，考虑到模型复杂性与不确定性、间隙干扰、负载扰动等原因对定位平台稳定悬浮控制问题的影响，引入自抗扰控制技术并且进行数值仿真与实现。结果表明，对悬浮方向上的控制问题引入自抗扰控制技术，不仅能实现稳定悬浮控制而且系统具有很强的鲁棒抗干扰能力。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龙志强	国防科技大学机电工程与自动化学院	62	726	13.0	23.0
2	张和洪	国防科技大学机电工程与自动化学院	2	2	1.0	1.0