CVD法生长ZnS红外光学晶体材料

• 作者: 何宇 吴绍华 夏青松 子光平 孙兴 应飞飞 张明 朱凯 李颖昱 王侃
• 来源期刊: 云光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 ZNS 晶体生长
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 页码范围: 20-24
• 页数: 5页
• 分类号: TN211

摘要

采用化学气相沉积（CVD）法，在zn-H2s-Ar体系中生长用于红外光学透镜、窗口等光学元件制造的透明ZnS晶体。测定了ZnS样品的XRD谱和红外透过光谱。研究结果表明：通过优化的生长技术工艺条件，可以制备出立方结构高光学质量透明ZnS晶体；在8～12μm长波红外波段的平均透过率达72％以上，在3～5μm中波红外波段的平均透过率达70％以上。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴绍华		5	0	0.0	0.0
2	李颖昱		2	0	0.0	0.0
3	张明		1	0	0.0	0.0
4	何宇		1	0	0.0	0.0
5	朱凯		1	0	0.0	0.0
6	夏青松		2	0	0.0	0.0
7	子光平		1	0	0.0	0.0
8	应飞飞		1	0	0.0	0.0
9	王侃		2	0	0.0	0.0
10	孙兴		4	0	0.0	0.0