光刻胶成膜树脂的研究进展

• 作者: 冯波 宋梦瑶 朱超 艾照全
• 来源期刊: 粘接
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻胶 单体 成膜树脂 光敏度 化学放大光刻胶 有效含碳量
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 78-81,86
• 页数: 5页
• 分类号: TQ577.3+5
• 字数: 4413字
• 语种: 中文

摘要

光刻胶是集成电路和分立器件的基础工艺材料,主体成膜树脂是光刻胶的重要组分之一,不同的成膜树脂对光刻胶的性能有不同影响.主要综述了光刻胶的分类,影响光刻胶成膜树脂性能的因素,成膜树脂的发展,及光刻胶的主要技术参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	艾照全	有机功能分子合成与应用教育部重点实验室湖北大学化学化工学院	28	94	6.0	7.0
2	朱超	有机功能分子合成与应用教育部重点实验室湖北大学化学化工学院	8	17	3.0	4.0
3	冯波	有机功能分子合成与应用教育部重点实验室湖北大学化学化工学院	7	11	2.0	3.0
4	宋梦瑶	有机功能分子合成与应用教育部重点实验室湖北大学化学化工学院	2	6	1.0	2.0