基于旋转法的球面干涉仪系统误差标定方法

• 作者: 孙娟 彭代东 杨静 王乔方 王会玲
• 来源期刊: 云光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 球面干涉 旋转法 误差标定
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 页码范围: 37-40
• 页数: 4页
• 分类号: TH74

摘要

本文提出了旋转法标定球面干涉仪系统误差的方法，该方法根据Zemike多项式的性质，通过旋转被测球面零件，可以消除干涉仪测量光学球面面形误差时所存在的固有系统误差，可实现数字球面干涉仪的绝对校准，同时也可对被测球面零件进行绝对测量。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王乔方		4	0	0.0	0.0
2	彭代东		2	0	0.0	0.0
3	孙娟		6	0	0.0	0.0
4	杨静		1	0	0.0	0.0
5	王会玲		1	0	0.0	0.0