基于双激光束的微型光热驱动器研究

• 作者: 王淑莹 章海军 许睿 韩旭
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 双激光束 光热偏转量 微型光热驱动器(OTMA) 光热膨胀
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 43-47
• 页数: 5页
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.16136/j.joel.2015.01.0732

摘要

实现了一种利用双激光束(双光斑)的微型光热驱动的器(OTMA).利用准分子激光微加工系统加工制作了膨胀臂宽为100 μm、总长为750 μm的非对称型OTMA;利用波长650 nm的双激光束开展了OTMA的光热驱动实验研究,借助CCD显微视频运动测量系统,测定了光热偏转量与激光功率之间的关系曲线.实验结果表明,OTMA的光热偏转量与激光总功率之间近似成线性关系;当双光斑功率为4 mW时,OTMA获得的光热偏转量达到15.2 μm,大于单光斑分别照射时的偏转量之和(13.1 μm);同时,当双光斑照射与单光斑照射获得的光热偏转量相同时,双光斑的功率密度仅为单光斑的1/2甚至更小,从而可有效地避免单光斑照射时因局部温升过高而导致OT-MA烧结损坏,延长了器件的工作寿命.本文的OTMA结构简单,易于加工,偏转量大,易于操作,并且可以实现无线远距离控制;可望在微纳米技术及微型光机电系统等领域获得广泛应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章海军		53	454	12.0	18.0
2	韩旭		15	22	3.0	4.0
3	王淑莹		2	19	1.0	2.0
4	许睿		2	0	0.0	0.0