掺杂ZnO厚膜对丙酮气敏特性的影响

• 作者: 刘萌萌 潘国峰 田野 白卫芹
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO厚膜 化学共沉淀法 丙酮 Al-Sn共掺杂 气敏特性
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 材料与结构
• 页码范围: 31-36
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2015.01.005

摘要

采用化学共沉淀法制备了Al质量分数分别为0％,7％,9％和11％的掺杂Zn (OH)2,以及固定Al质量分数为9％,掺入不同质量分数Sn的Zn (OH)2,经500,700和900℃退火后,得到ZnO粉末样品,利用浸渍提拉法在Al2O3陶瓷管表面覆膜,制成气敏元件.通过X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对样品的晶体结构和表面形貌进行了表征,采用气敏测试系统对气敏元件的特性进行了检测.研究了Al-Sn共同掺杂对气敏性能的影响,并讨论了Al-Sn共同掺杂ZnO厚膜的气敏机理.实验结果表明:掺杂的ZnO厚膜表面呈疏松多孔结构,Al-Sn共同掺杂的ZnO气敏材料对丙酮具有很好的选择性.其中,Al质量分数为9％、Sn质量分数为3％掺杂的ZnO样品,在工作温度为75℃时,灵敏度可达12 792,响应时间和恢复时间分别为1和3 s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘国峰	河北工业大学信息工程学院	70	462	10.0	18.0
2	刘萌萌	河北工业大学信息工程学院	2	2	1.0	1.0
3	白卫芹	河北工业大学信息工程学院	2	2	1.0	1.0
4	田野		1	0	0.0	0.0