红外显微系统应用简述

• 作者: 刘福平 尹爽 徐思轶 李茂忠 汪兴 王彩萍
• 来源期刊: 云光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 红外显微系统 电子集成器件 MEMS 微型催化剂
• 年，卷（期）: ygjs,（2）
• 页码范围: 18-23
• 页数: 6页
• 分类号: TS941

摘要

随着红外显微系统设计水平和制造水平的不断提升，红外显微系统已不仅仅是停留于实验室中的设计样品。目前红外显微系统的应用十分广泛，主要应用在微电子集成加工与设计、材料检测、微纳米技术等很多实际领域中。随着红外显微系统在更多非常规领域中的应用其市场需求也将不断扩大。