扭摆式高g值微机械加速度计的设计优化与冲击校准

• 作者: 刘云峰 朱科引 董景新 陶永康
• 来源期刊: 振动与冲击
• 学科: 交通运输
• 关键词: 高 g 值微机械加速度计 扭摆式加速度计 检测读出电路 霍普金森杆 冲击校准
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 页码范围: 53-57
• 页数: 5页
• 分类号: TH7|U666.1
• 字数: 2585字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13465/j.cnki.jvs.2015.01.011

摘要

设计实现了一种扭摆式高g值微机械加速度计。微结构采用十字形扭梁减小横向效应，摆片两侧使用梳齿结构作为止档和阻尼器，6个敏感单元并联的方式提高基础电容量。有限元仿真得到表头谐振频率约为56 kHz，前两阶模态分离比大于4，高过载能力10万 g，微结构灵敏度为8．94E －6pF ／g，基于玻璃－硅（Silicon On Glass，SOG）工艺流片后单侧基础电容约为3．6 pF。分析了环形二极管电容检测电路的检测带宽问题，并设计了高 g 值加速度计的检测电路。搭建了霍普金森杆实验系统进行高 g 值的冲击校准，2万 g 范围内非线性度2％，5 V 供电下标度因数约为24．5μV ／g。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董景新	清华大学精密仪器系	89	741	14.0	20.0
2	刘云峰	清华大学精密仪器系	51	405	12.0	16.0
3	陶永康	清华大学精密仪器系	4	11	2.0	3.0
4	朱科引	清华大学精密仪器系	1	0	0.0	0.0