Si/SiO2高对比光栅参数对反射率的影响

• 作者: 刘云 宁永强 张星 李秀山 王立军 秦莉 贾鹏 陈泳屹
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅 高对比亚波长光栅 高反射率 有限元分析
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 806-810
• 页数: 5页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 2160字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20153607.0806

摘要

为解决850 nm波长VCSEL表面的GaAs/空气材料的高对比亚波长光栅( HCGs)稳定性差的问题,设计了基于Si/SiO2材料的高对比亚波长光栅。研究了850 nm波长高稳定、高反射率(>99.5%)的高对比亚波长矩形光栅参数的变化对反射率的影响。利用有限元分析软件计算了Si/SiO2高对比亚波长光栅的高度、填充因子、周期、刻蚀深度及光栅倾角等各个参数的变化对850 nm的反射率影响。计算结果表明：当波长为850 nm的TE光从SiO2正入射到矩形HCGs且只有在光栅的倾角大于88°的小范围内变化时,HCGs的反射率才大于0.995,而光栅的其他参数对HCGs反射率的影响可以忽略不计。