ULTRA PLUS场发射扫描电子显微镜的日常维护及故障排除

• 作者: 卢慧粉 孙秋香 宋庆军 曹艳芬
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电子显微镜 日常维护 故障排除
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 试验设备及应用
• 页码范围: 49-51,68
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.21+5.3
• 字数: 3722字
• 语种: 中文

摘要

以德国蔡司ULTRA PLUS扫描电子显微镜为例,从环境条件、光学系统、真空系统及附件设施4个方面总结分析了场发射扫描电子显微镜的日常维护保养方法和故障排除方法.以期解决扫描电子显微镜的日常维护和常见的故障排除问题,降低电镜维护保养成本,延长使用寿命.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹艳芬		3	8	2.0	2.0
2	宋庆军		14	19	2.0	4.0
3	孙秋香		13	19	2.0	4.0
4	卢慧粉		6	18	2.0	4.0