电子束快速成型机聚焦及偏扫系统的工程实现

• 作者: 李雪娇 莫金海 韦寿祺
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束快速成型 束斑散焦 聚焦电流补偿 偏扫场分区 偏扫电流补偿
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺设备
• 页码范围: 634-638
• 分类号: TG439.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.05.21

摘要

阐述了电子束快速成型机聚焦及偏扫系统在工程上所遇到的几个问题及解决方法.主要有:制造工艺引起s、t轴偏扫不垂直,通过斜角坐标和直角坐标数据互换算来解决此问题;电子束偏转后束斑散焦,采用以电子束偏转位置为因变量校正聚焦励磁电流来解决此问题;电子束聚焦校正励磁电流与反映位置的s、t轴偏扫励磁电流之间存在非线性,采用偏扫场按扇形分区,试验获取特征点参数数据,区域内每点参数按线性近似处理;磁路动态损耗影响聚焦补偿精度和偏扫精度,励磁电源指令电压采用比例-微分输入方式加以解决.试验结果表明电子束斑的均匀性和偏扫精度均明显优于无补偿系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韦寿祺	桂林电子科技大学机电工程学院	49	284	6.0	15.0
2	莫金海	桂林电子科技大学机电工程学院	35	131	6.0	9.0
3	李雪娇	桂林电子科技大学机电工程学院	2	10	2.0	2.0