篇名 | Analysis and modeling of hysteresis of piezoelectric micro-actuator used in high precision dual-stage servo system | ||
来源期刊 | 控制理论与技术(英文版) | 学科 | |
关键词 | |||
年,卷(期) | 2015,(2) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 184-203 | |
页数 | 20页 | 分类号 | |
字数 | 语种 | 英文 | |
DOI | 10.1007/s11768-015-4150-2 |