基于YAG透明陶瓷制作衍射光栅元件的研究

• 作者: 夏侯命玖 李豪伟 罗宁宁 肖孟超 龚勇清
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射光栅 YAG透明陶瓷 磁控溅射 接触式曝光系统
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 光学器件与制造
• 页码范围: 98-102
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7|TQ174.75
• 字数: 2858字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201536.0105002

摘要

研究并制作了以钇铝石榴石（YAG）透明陶瓷为基底材料的衍射光栅元件。通过磁控溅射技术在YAG透明陶瓷表面溅射一层均匀致密的金属铬，获得带有硬掩模的陶瓷样品。借助接触式曝光系统进行光刻，反复试验，获得带有衍射光栅的YAG透明陶瓷样品。经光学轮廓仪检测，样品铬膜厚0．072μm ，光栅细节得到完好保留。实际光栅的衍射图样再次验证了以Y A G透明陶瓷代替传统微光刻基底材料制作衍射光栅的可行性，使得衍射光栅在更为复杂的环境下发挥作用成为可能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李豪伟	南昌航空大学测试与光电工程学院	1	2	1.0	1.0
5	龚勇清		1	2	1.0	1.0
6	夏侯命玖		1	2	1.0	1.0
7	肖孟超		1	2	1.0	1.0
8	罗宁宁		1	2	1.0	1.0