磁控溅射旋转阴极的换热计算与流固热耦合分析

• 作者: 王国栋 王庆生 闫清泉 陈长琦
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 旋转阴极 磁控溅射 换热计算 有限元分析
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 工艺设备
• 页码范围: 1276-1281
• 分类号: O368|TK124
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.10.20

摘要

分析了影响旋转阴极换热的因素,提出一种阴极冷却系统的设计方案.基于流体力学、传热学理论,根据整理自实验结果的相似准则和经验公式,应用所设计的旋转阴极换热数学模型进行了水冷系统性能参数计算,并通过有限元模拟的流固热耦合方法分析,数值仿真研究了实际工作状态下的阴极瞬态换热,得到阴极换热状态及温度分布随时间变化的规律,进一步验证了换热数学模型水冷系统性能参数计算结果.这种结合数值计算和有限元仿真的研究思路及方法,可为旋转阴极冷却系统的设计和优化提供理论依据和重要参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈长琦	合肥工业大学机械与汽车工程学院	119	1027	16.0	26.0
2	王国栋	合肥工业大学机械与汽车工程学院	20	61	4.0	6.0
3	王庆生	合肥工业大学机械与汽车工程学院	16	110	6.0	10.0
4	闫清泉	合肥工业大学机械与汽车工程学院	1	3	1.0	1.0