温度变化对受静电力作用微圆板的影响分析

• 作者: 曹天捷
• 来源期刊: 工程力学
• 学科: 物理学
• 关键词: 微圆板 温度变化 静电力 吸合电压 数值解
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 基本方法
• 页码范围: 20-30
• 页数: 11页
• 分类号: O39
• 语种: 中文
• DOI: 10.6052/j.issn.1000-4750.2013.09.0806

摘要

以考虑温度效应时,受静电力作用的微圆板静力弯曲变形微分方程为基础,该文首先针对轴对称问题的特点,利用级数展开和求极限法则,对圆板静力弯曲变形微分方程进行了改进.改进后的微分方程消除了圆心处的奇异性.其次,利用改进后的圆板静力变形弯曲微分方程,对周边固支圆板受静电力和温度变化作用下的受力变形进行分析.分析过程分为3个阶段:正常模式、过渡模式和接触模式.在数值求解圆板弯曲变形微分方程时,主要将非线性微分方程的求解化成迭代求解两个未知量的问题,一个未知量是形成静电场力的电压,而另一个未知量是圆板的一个边界条件.在实例中,给出了部分计算结果,包括:温度变化对不同阶段圆板受力变形的影响,温度变化对吸合电压的影响,以及不同温度变化下,圆板的几何尺寸对吸合电压的影响,从而可以更好地了解温度变化的作用和影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹天捷		14	36	3.0	5.0