硅基微结构上的聚吡咯功能薄膜均匀性研究

• 作者: 任重 朱平 熊继军 蔡婷
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS超级电容器 功能薄膜 聚吡咯(PPy) 苯磺酸钠(BSNa) 扫描速度 均匀性
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 材料与结构
• 页码范围: 89-92,122
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2015.02.005

摘要

针对聚吡咯(PPy)功能薄膜在三维微结构上很难均匀电沉积,易出现MEMS超级电容器阴阳极黏连、接触等失效现象,通过控制吡咯(Py)单体与苯磺酸钠(BSNa)溶液的配比与循环伏安扫描速度,探索PPy功能薄膜在三维微结构上的均匀沉积方法.研究表明:当Py与BSNa摩尔比为1∶2,氧化石墨烯(GO)质量分数为0.4％时,以20 mV/s的扫描速度扫描56圈,制备出均匀致密的PPy功能薄膜.SEM测试表明:PPy功能薄膜具有良好的均匀性;恒流充放电测试表明:MEMS超级电容器具有良好的快速充放电特点.因此,本研究使三维硅基微结构上的功能薄膜均匀性得到明显改善,缓解了器件的阴阳极接触失效问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊继军	中北大学电子测试技术重点实验室	111	702	13.0	19.0
5	朱平	中北大学电子测试技术重点实验室	30	97	6.0	8.0
9	蔡婷	中北大学电子测试技术重点实验室	5	16	2.0	4.0
13	任重	中北大学电子测试技术重点实验室	4	3	1.0	1.0