MEMS陀螺仪综合测试系统设计与实现

• 作者: 王甫 董冀 赵轶卓 鞠莉娜 高玉霞
• 来源期刊: 集成电路通讯
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS陀螺仪 综合测试 数据采集 性能指标
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TP274.2

摘要

针对惯性器件的测试特点，设计了一套完整的MEMS陀螺仪综合测试系统。该测试系统由高性能台式计算机、高精度大量程速率转台、测试专用工装、控制软件等主要部分组成。软件部分开发基于LABVIEW语言，采用模块化与独立化的处理方式，它的功能是控制温箱、控制转台、控制数据采集卡、存储数据、分析数据、出具测试报告。系统的测试过程是在不同外界环境和角速度输入的情况下，记录陀螺仪的输出，并根据测试项目的要求对数据进行分析与计算，得到能够表征陀螺仪性能的各种参数。经实验验证该系统能够在无人值守的情况下完成MEMS陀螺仪的全部零偏与标度因子系列指标，且满足批量测试要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵轶卓	北方通用电子集团有限公司微电子部	2	0	0.0	0.0
2	高玉霞	北方通用电子集团有限公司微电子部	3	0	0.0	0.0
3	董冀	北方通用电子集团有限公司微电子部	5	0	0.0	0.0
4	鞠莉娜	北方通用电子集团有限公司微电子部	4	0	0.0	0.0
5	王甫	北方通用电子集团有限公司微电子部	1	0	0.0	0.0