高性能氧化物陶瓷靶材的压力注浆成型工艺及应用

• 作者: 周贤界 惠浩
• 来源期刊: 电工材料
• 关键词: 陶瓷靶材 成型 压力注浆
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 34-38,42
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.2+1
• 语种: 中文

摘要

氧化物陶瓷靶材是一种关键性的基材镀膜材料，其结构向高密度、大尺寸、管状、异型、均匀方向发展，这些结构特点对材料成型技术提出了更高的要求。本文对氧化物陶瓷靶材的多种产业化成型工艺进行综合评述，结合在压力注浆成型工艺上取得的进展，重点对高压注浆成型工艺的技术特点、应用优势进行了介绍，并展望了其应用前景。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周贤界	中南大学材料科学与工程学院	2	6	2.0	2.0
2	惠浩		1	4	1.0	1.0