Ar-CdCl2热处理和稀土Nd掺杂对CdS/CdTe复合薄膜结构及其光学性能的影响

• 作者: 何佳 周涛 张海霞 李忠贤 王呼生 薛康 邹凯 鲍秀珍
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: CdS/CdTe 热处理 Nd掺杂 光学性能
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 271-275
• 分类号: O484|TM914.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.03.04

摘要

在TCO玻璃衬底上依次采用化学水浴法和真空热蒸发工艺沉积CdS、CdTe薄膜,并在不同条件下进行热处理,制备了CdS/CdTe异质结复合薄膜.通过X射线衍射、扫描电镜,紫外-可见(U-V)透射光谱研究了不同温度下稀土Nd掺杂以及Ar-CdCl2热处理对薄膜结构、形貌和光学性能的影响.结果表明:不同条件下制备的薄膜均具有(111)晶面择优取向;样品表面形貌在不同条件下热处理后存在剧烈的差异,随着热处理温度的升高,薄膜晶粒增大;掺入Nd并在Ar-CdCl2氛围下热处理后,薄膜致密且粒径均匀,粒径明显增大,其(111)晶面的择优取向进一步增强.U-V透射光谱分析表明,Ar气氛下热处理对改善薄膜的光吸收作用并不明显,但掺Nd和在Ar-CdCl2氛围下热处理均可明显增强薄膜的光吸收性能,这对于提高太阳电池的光谱响应是非常有利的.