一种新型MEMS加速度计温度补偿方法研究?

• 作者: 郑长勇 陈军宁
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 交通运输
• 关键词: MEMS 加速度计 温度补偿 最小二乘法
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 39-42
• 页数: 4页
• 分类号: U666.1
• 字数: 2504字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.01.008

摘要

为降低环境温度对加速度计测量输出的影响,本文提出了一种新的加速度计温度补偿方法,即三维拟合曲面和计算的补偿方法。本文详细介绍了该温度补偿方法的具体原理和实现方法,并用实验进行了验证,实验结果表明加速度计最大零位漂移由温度补偿前的500 mV缩小为温度补偿后的50 mV,即温漂缩小了一个数量级,补偿效果明显。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈军宁	安徽大学电子信息工程学院	160	1135	16.0	26.0
2	郑长勇	安徽建筑大学电子与信息工程学院	17	102	5.0	9.0