等厚干涉实验中缺陷检测的数值模拟

• 作者: 刘建龙 高扬
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: 等厚干涉 数值仿真 缺陷检测
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: ?集 锦?
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 分类号: O436.1
• 字数: 1851字
• 语种: 中文

摘要

利用数值方法研究了等厚干涉实验中平面玻璃存在凸凹缺陷时的干涉条纹，给出了不同缺陷尺寸、高度或曲率情况下的条纹变化性质，讨论了利用干涉图像进行缺陷检测的方法。该研究给出等厚干涉实验中的典型问题的数值求解办法，结果形象直观，便于理解。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘建龙	哈尔滨工业大学物理系	4	6	2.0	2.0
2	高扬	黑龙江大学电子工程学院	18	31	3.0	4.0