多晶硅铸锭炉扩容后的安全性分析及安全措施研究

• 作者: 冯宏亮 周社柱 张桂芸 王成君 王锋
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 装炉量 安全系数 溢流 热量 冷却凝固 紧急泄压
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 真空冶金
• 页码范围: 36-41
• 页数: 6页
• 分类号: TB79|TK11|TF063
• 字数: 4973字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2015.04.09

摘要

本文针对目前主流的多晶硅铸锭炉装炉量与设备安全性进行分析，通过强度变形量计算及热力学分析与目前的各种安全措施进行比较，从而提出比较理想的安全改进措施。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王锋	中国电子科技集团公司第二研究所	11	24	3.0	4.0
2	张桂芸	中国电子科技集团公司第二研究所	5	4	1.0	2.0
3	周社柱	中国电子科技集团公司第二研究所	6	9	2.0	3.0
4	王成君	中国电子科技集团公司第二研究所	7	2	1.0	1.0
5	冯宏亮		1	0	0.0	0.0