AFM压电陶瓷驱动器类Hammerstein建模与参数辨识?

• 作者: 徐康康 徐运扬 沈平
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷驱动器 非线性建模 Hammerstein模型 系统辨识 支持向量机
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 23-27
• 页数: 5页
• 分类号: TN792
• 字数: 3665字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.01.005

摘要

AFM( Atomic Force Microscope,原子力显微镜)中的压电陶瓷驱动器具有率相关迟滞非线性特性,这会影响AFM的扫描和定位精度。针对传统静态迟滞模型不能反映系统率相关动态迟滞特性的缺陷,提出Hammerstein模型以描述压电陶瓷驱动器的静态和动态迟滞特性。利用最小二乘支持向量机结合奇异值分解法对模型中的参数进行辨识。实验结果表明,模型能体现压电陶瓷驱动器的率相关迟滞特性,精度高于传统静态迟滞模型,建模方法对此类系统具有较好的应用价值。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐康康	中南大学高性能复杂制造国家重点实验室	4	16	1.0	4.0
2	沈平	中南大学高性能复杂制造国家重点实验室	9	57	5.0	7.0
3	徐运扬	中南大学高性能复杂制造国家重点实验室	2	16	1.0	2.0