聚合物微纳加工设备的研究进展

• 作者: 蒋兴浩 许忠斌 谈卫国
• 来源期刊: 橡塑技术与装备
• 学科: 工学
• 关键词: 聚合物 微纳米 加工设备 研究进展
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 6-13
• 页数: 8页
• 分类号: TQ320.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.13520/j.cnki.rpte.2015.02.002

摘要

微注塑机、微挤出机、微热压成型设备、PDMS模具、激光刻蚀设备、等离子体刻蚀机、电子束曝光机和3D打印机在聚合物微纳加工领域中占有重要地位.本文总结了这些设备的工作原理、特点以及国内外研究现状,并对设备的发展前景做了展望.