基于缝式喷嘴的高硅钢渗硅速率实验研究

• 作者: 何丹 厚康 王清 相颖杰 陈建钧
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 缝式喷嘴 高硅钢 渗硅速率 反应温度 SiCl4 气体浓度 气体流量
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 表面强化及功能化 Surface Strengthening and Functionalization
• 页码范围: 63-67,85
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.445
• 字数: 2717字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.10.011

摘要

目的：研究基于缝式喷嘴的SiCl4和N2混合气体的喷射工艺参数对CVD法制备6.5%Si钢渗硅速率的影响。方法采用不同的反应温度、SiCl4气体体积分数、混合气体流量进行渗硅实验,通过扫描电镜、能谱分析、失重比研究这3个参数对渗硅速率的影响,并对比分析喷嘴喷射反应气体和均匀气氛对渗硅速率的影响。结果缝式喷嘴喷射反应气体能极大提升渗硅速率。随着温度的升高,渗硅速率不断升高,达到1100℃后,渗硅速率趋于饱和不再有明显变化。随着SiCl4气体体积分数和混合气体流量的升高,渗硅速率均先升高,再逐渐降低,当SiCl4气体体积分数为15%时,渗硅速率达到最大；当混合气体流量为1 L/min时,渗硅速率达到峰值。结论 CVD法制备6.5%Si钢时,采用缝式喷嘴喷射反应气体具有明显的优势,最佳工艺参数为：反应温度1170℃,SiCl4气体体积分数15%,混合气体流量1 L/min。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈建钧	华东理工大学机械与动力工程学院	55	167	8.0	10.0
2	厚康	华东理工大学机械与动力工程学院	4	27	2.0	4.0
3	王清	华东理工大学机械与动力工程学院	2	9	1.0	2.0
4	相颖杰	华东理工大学机械与动力工程学院	4	12	3.0	3.0
5	何丹	华东理工大学机械与动力工程学院	2	9	1.0	2.0