一种新型表面涂层及其应用

• 作者: 凌尧 卢剑寒 周峻霖 姚道俊 尤广为
• 来源期刊: 集成电路通讯
• 学科: 工学
• 关键词: PARYLENE 气相沉积 涂层 HIC电路
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 页码范围: 36-40
• 页数: 5页
• 分类号: TQ153.2

摘要

Parylene是一种性能优异的高聚合物材料，可沉积到金属、玻璃、树脂、塑料、陶瓷等各种形状材料的表面。针对表面工程技术发展趋势，阐述了Parylene涂层性能、沉积工艺及应用领域，并综合比较其与环氧树脂、有机硅树脂、聚氨酯涂层性能的异同，事实证明Parylene可用于HIC电路表面涂层，保证电路表面可靠性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尤广为	北方通用电子集团有限公司微电子部	2	0	0.0	0.0
2	凌尧	北方通用电子集团有限公司微电子部	3	0	0.0	0.0
3	周峻霖	北方通用电子集团有限公司微电子部	4	0	0.0	0.0
4	卢剑寒	北方通用电子集团有限公司微电子部	5	0	0.0	0.0
5	姚道俊	北方通用电子集团有限公司微电子部	2	0	0.0	0.0