老炼对集成电路静态电源电流的影响

• 作者: 于祥苓 王安帮
• 来源期刊: 微处理机
• 学科: 工学
• 关键词: 老炼 可靠性筛选试验 静态电源电流 早期失效 加工工艺 可靠性
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 大规模集成电路设计、制造与应用
• 页码范围: 7-8,11
• 页数: 3页
• 分类号: TN4
• 字数: 1448字
• 语种: 中文

摘要

为使用户得到更可靠的集成电路产品，老炼是目前最常用和最有效的一种可靠性筛选试验方法。介绍了集成电路老炼的意义和试验方法，通过研究正常 CMOS 器件和有工艺缺陷的 CMOS器件的静态电源电流随老炼时间的变化曲线，经在老炼过程中多次不同时间测试得出的实验数据，可以清楚地发现器件的早期失效情况。经过分析后可以很好地反馈到器件的生产加工过程中，为集成电路的设计、加工和生产提供良好的数据依据，使集成电路加工工艺不断改善和元器件品质不断改进。指出了老炼在集成电路生产过程中的指导作用，是提高集成电路可靠性的有效手段。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于祥苓	中国电子科技集团公司第四十七研究所	5	17	3.0	4.0
2	王安帮	中国电子科技集团公司第四十七研究所	1	4	1.0	1.0