基于MEMS技术的新型太赫兹混频器设计与制作

• 作者: 付博 徐立新 李建华 王凤芹 陈和峰
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 混频器 太赫兹 MEMS 微带线 牺牲层工艺
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 9-12
• 页数: 4页
• 分类号: TN384
• 字数: 2613字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.01.002

摘要

混频器是太赫兹器件中传输信号的基本元件，具有重要的研究价值。介绍了一种以MEMS工艺为基础的新型的太赫兹混频器设计和加工工艺。该太赫兹混频器采用具有高介电常数SU-8光刻胶作为介质层，然后在SU-8胶介质层上进行光刻、电镀微带线，实现了采用正负胶结合的牺牲层工艺加工制作出了太赫兹混频器。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐立新	北京理工大学机电动态控制重点实验室	47	433	11.0	18.0
2	李建华	北京理工大学机电动态控制重点实验室	6	16	3.0	4.0