亚波长金属偏振光栅设计与分析

• 作者: 刘俊 唐军 康宁 李大林 杨江涛 郭浩 陈萌
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 亚波长金属光栅 严格耦合波分析 周期 占空比 金属厚度
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 79-81,84
• 页数: 4页
• 分类号: TN16
• 字数: 1936字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2015)02-0079-03

摘要

为解算大气偏振态来实现精确导航，基于严格耦合波分析，设计了适用于复眼结构的亚波长金属偏振器。针对不同周期、占空比和金属层厚度的单层、双层金属光栅进行了仿真分析，结合实际工艺水平和加工成本，最后选定周期200 nm，占空比0.5，深度200 nm，金属层厚度100 nm的双层金属光栅作为复眼结构的检偏器，设计的双层金属光栅在中心波段450 nm的蓝光（400～500 nm）TM偏振光透射率为45%，消光比达到450，达到用于偏振导航的要求。