设计最佳化解决金属导线变形和短路问题

• 作者: 张雷 李健 李勇 王洁 许宗能
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金属变形 金属间隙 空洞 热应力
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: SMT PCB
• 页码范围: 343-346
• 页数: 4页
• 分类号: TN605
• 字数: 2033字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2015.06.009

摘要

基于铝亚微米金属化结构，研究了金属导线侧壁变形的成因和影响。发现氧化硅空洞和热应力是导致金属导线侧壁变形的重要因素，比较了不同间隙宽度对氧化硅填充能力和金属变形的影响，利用热处理温度增加和应力变化加剧金属变形来了解失效模式，分析了铝线尺寸设计与实际间隙宽度的关系，提出了利用设计最佳化来解决金属导线变形的问题。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许宗能		1	0	0.0	0.0
2	李健		1	0	0.0	0.0
3	李勇		1	0	0.0	0.0
4	张雷		1	0	0.0	0.0
5	王洁		1	0	0.0	0.0