基于多孔Al2O3绝缘层的MIM电子源电子发射特性研究

• 作者: 刘纯亮 张小宁 薛涛
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多孔Al2O3 MIM电子源 电子发射特性 负阻效应
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 1390-1395
• 分类号: O462.4|TN104.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.11.20

摘要

针对基于无孔Al2O3绝缘层的金属-绝缘层-金属(MIM)电子源存在显著负阻效应和无法在气氛下稳定发射电子的特点,提出并制备了一种Al底电极-多孔Al2O3绝缘层-Ti/Au复合顶电极结构的MIM电子源.在真空,不同压强的氮气和空气中的电子发射结果表明,Al2O3绝缘层经过磷酸扩孔后,MIMM电子源的负阻效应在电子发射区间几乎消失,同时增强了电子发射的局部电场,电子获得更好的加速,提高了发射电流.Ti/Au复合顶电极改善了Au膜和多孔Al2O3绝缘层的电接触,减小了电子能量的散射.该电子源发射的电子能够激发氮气,在空气和氮气中的发射电流大小受气体及其压强的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘纯亮	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	124	527	9.0	16.0
2	张小宁	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	37	116	6.0	8.0
3	薛涛	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	19	168	6.0	12.0