浮动式涡旋干泵的结构设计与特点

• 作者: 倪诗茂
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 清洁真空 涡旋干泵 浮动式涡旋干泵
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 真空获得与设备
• 页码范围: 16-20
• 页数: 5页
• 分类号: TM277.1
• 字数: 4236字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2015.04.04

摘要

涡旋干泵以其特有的性能优势，一直是真空清洁获得设备行业备受期待的产品。传统涡旋干泵，因其密封技术及加工精度上所存在的弱点而使其在许多应用中无法发挥无油涡旋压缩技术的性能优势，因而限制其大量的应用。浮动式无油涡旋干泵，通过精细的力平衡，充分发挥无油涡旋压缩技术的性能优势，从而使其成为清洁真空获得设备领域最受期待的新产品。本文从涡旋真空泵的基本工作原理、传统涡旋干泵所存在的密封及加工精度问题进行剖析，进而引出浮动式涡旋干泵结构的特点及性能优势，最后通过实验数据对比，阐明微型浮动涡旋干泵的压倒性性能优势，并对今后的市场发展进行了展望。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	倪诗茂		1	0	0.0	0.0