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镍铬合金靶材裂纹产生原因分析
镍铬合金靶材裂纹产生原因分析
作者:
刘志坚
陈远星
黄中越
黄伟嘉
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
薄膜电阻
镍铬合金
溅射靶材
夹杂物
裂纹
摘要:
研究全返回料真空冶炼镍铬合金靶材产品内部产生裂纹的原因.通过金相显微镜、电子扫描显微镜等仪器进行观察检测,认为夹杂物是产生裂纹的主要因素,并通过加强对入炉料的清理和改进冶炼工艺等措施,减少和避免废品出现,改善材料质量,提高产品成材率,增强产品市场竞争力.
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文献信息
篇名
镍铬合金靶材裂纹产生原因分析
来源期刊
南方金属
学科
工学
关键词
薄膜电阻
镍铬合金
溅射靶材
夹杂物
裂纹
年,卷(期)
2015,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
4-6
页数
3页
分类号
TF815
字数
2062字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
刘志坚
19
78
5.0
8.0
2
黄伟嘉
8
57
4.0
7.0
3
陈远星
14
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4
黄中越
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二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
薄膜电阻
镍铬合金
溅射靶材
夹杂物
裂纹
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
南方金属
主办单位:
广东省金属学会
出版周期:
双月刊
ISSN:
1009-9700
CN:
44-1521/TF
开本:
大16开
出版地:
广东省广州市中山二路48号后座
邮发代号:
创刊时间:
1980
语种:
chi
出版文献量(篇)
2319
总下载数(次)
7
总被引数(次)
4664
期刊文献
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