硬质合金高温化学气相沉积TiC涂层工艺研究

• 作者: 安小建 张丽珍 罗磊 赵广彬 陈梽雄
• 来源期刊: 西华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化钛 化学气相沉积 硬质合金
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 先进材料及能源
• 页码范围: 97-101
• 页数: 5页
• 分类号: TG722
• 字数: 3693字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-159X.2015.04.020

摘要

采用高温化学气相沉积在YG8基体上制备TiC涂层,研究沉积温度、沉积时间、H2流量、H2/CH4(流量比)以及TiCl4流量对镀层的抗弯曲强度、膜基结合力及表面显微硬度的影响,并通过正交试验优化工艺参数。结果表明：当沉积温度为1000℃,沉积时间为90 min,H2流量为400 ml,H2/CH4(流量比)为15∶1,TiCl4流量为80 mL时,镀层具有优良的性能,抗弯曲强度达到1100 N,表面显微硬度达到3228 HV,膜基结合力达到90 N。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵广彬	西华大学材料科学与工程学院	24	89	6.0	7.0
2	张丽珍	西华大学材料科学与工程学院	2	8	2.0	2.0
3	罗磊	西华大学材料科学与工程学院	3	14	2.0	3.0
4	安小建	西华大学材料科学与工程学院	3	13	2.0	3.0
5	陈梽雄	西华大学材料科学与工程学院	1	6	1.0	1.0