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硬质合金高温化学气相沉积TiC涂层工艺研究
硬质合金高温化学气相沉积TiC涂层工艺研究
作者:
安小建
张丽珍
罗磊
赵广彬
陈梽雄
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
碳化钛
化学气相沉积
硬质合金
摘要:
采用高温化学气相沉积在YG8基体上制备TiC涂层,研究沉积温度、沉积时间、H2流量、H2/CH4(流量比)以及TiCl4流量对镀层的抗弯曲强度、膜基结合力及表面显微硬度的影响,并通过正交试验优化工艺参数。结果表明:当沉积温度为1000℃,沉积时间为90 min,H2流量为400 ml,H2/CH4(流量比)为15∶1,TiCl4流量为80 mL时,镀层具有优良的性能,抗弯曲强度达到1100 N,表面显微硬度达到3228 HV,膜基结合力达到90 N。
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无金属粘结相
硬质合金
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内容分析
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文献信息
篇名
硬质合金高温化学气相沉积TiC涂层工艺研究
来源期刊
西华大学学报(自然科学版)
学科
工学
关键词
碳化钛
化学气相沉积
硬质合金
年,卷(期)
2015,(4)
所属期刊栏目
先进材料及能源
研究方向
页码范围
97-101
页数
5页
分类号
TG722
字数
3693字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1673-159X.2015.04.020
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
赵广彬
西华大学材料科学与工程学院
24
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6.0
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2
张丽珍
西华大学材料科学与工程学院
2
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3
罗磊
西华大学材料科学与工程学院
3
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2.0
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安小建
西华大学材料科学与工程学院
3
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陈梽雄
西华大学材料科学与工程学院
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节点文献
碳化钛
化学气相沉积
硬质合金
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
西华大学学报(自然科学版)
主办单位:
西华大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
1673-159X
CN:
51-1686/N
开本:
大16开
出版地:
四川省成都市金牛区
邮发代号:
创刊时间:
1982
语种:
chi
出版文献量(篇)
3399
总下载数(次)
6
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