中国散裂中子源（CSNS）真空系统研制

• 作者: 关玉慧 刘佳明 刘鹏飞 宋洪 李琦 杨奇 王鹏程 董海义 赵晶晶 黄涛
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 散裂中子源 真空系统 陶瓷真空盒 氮化钛(TiN) 二次电子发射系数(SEY)
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 真空获得与设备
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TL503.7
• 字数: 6002字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2015.04.01

摘要

中国散裂中子源(CSNS)将提供能量为1.6GeV、功率为100kW的短脉冲质子束，以25Hz的重复频率撞击固体金属靶，产生散裂中子。散裂中子源是一个多学科平台，可以进行物理、化学、生物学和材料科学研究。本文描述了CSNS真空系统各个部分的结构特点、技术要求、设计方案和实验结果。通过金属化法和玻璃粘结法分别完成了四极陶瓷真空盒和二极陶瓷真空盒样机的研制。经过测试，陶瓷真空盒样机的机械尺寸、抗拉强度和真空性能达到了设计指标。另外，为了减小二次电子发射系数，在陶瓷真空盒内表面用磁控溅射法镀氮化钛，通过小样品测试了氮化钛膜的厚度、成分、二次电子发射系数和附着强度。目前， CSNS真空系统大部分设备和部件已投入批量生产，2014年10月中旬开始安装，2018年CSNS达到国家验收指标。