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集成电路用高纯金属材料及高性能溅射靶材制备研究进展
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摘要：
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溅射靶材的制备及发展趋势
溅射
靶材
制备
发展趋势
难熔金属材料增材制造工艺研究进展
增材制造
难熔金属
微裂纹
微观组织
力学性能
新型高阻尼金属材料的研究进展
研究思路
快速凝固/粉末冶金法
颗粒增强金属基复合材料
金属/金属复合体材料
冷喷涂技术制备非金属材料涂层的研究进展
冷喷涂
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相关学者/机构
期刊影响力
新材料产业
主办单位：
北京新材料发展中心
出版周期：
双月刊
ISSN：
1008-892X
CN：
11-4396/TU
开本：
大16开
出版地：
北京市海淀区学院路30号方兴大厦5层
邮发代号：
2-623
创刊时间：
1999
语种：
chi
出版文献量（篇）
4865
总下载数（次）
7
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