离子束抛光高陡度离轴非球面的去除函数修正

• 作者: 唐瓦 张学军 李锐钢 邓伟杰 郑立功
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学制造 离轴非球面 离子束抛光 溅射效应 去除函数
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1572-1579
• 页数: 8页
• 分类号: TQ171.68
• 字数: 4495字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152306.1572

摘要

研究了三轴离子束系统抛光大口径高陡度离轴非球面过程中镜面曲率变化对离子束抛光去除函数的影响.提出了利用修正矩阵修正各驻留点处的去除函数信息,进而实现对高陡度离轴非球面高精度抛光的方法.该方法通过对离轴非球面进行坐标转换来降低陡度变化对去除函数的影响;基于Sigmund溅射理论分析离子束抛光非球面材料的去除率,建立离子束抛光非球面去除函数模型,计算了材料去除率在非球面各驻留点处的变化.最后,根据投影原理计算在各驻留点处去除函数的半宽,得到以驻留点矩阵为基础的去除函数修正矩阵,从而掌握每一个驻留点处的去除函数信息,然后根据计算机控制光学表面成形(CCOS)原理解得加工驻留时间分布.选取口径为900 mm×680 mm,离轴量为350 mm的离轴体育场型非球面镜进行了抛光实验,实验显示抛光后非球面镜面形精度的RMS值由32.041 nm达到11.566 nm,收敛率达2.77,对实际加工具有指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张学军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	124	1634	25.0	33.0
2	邓伟杰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	13	205	10.0	13.0
3	郑立功	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	39	386	12.0	19.0
4	李锐钢	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	13	104	6.0	10.0
5	唐瓦	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	2	34	2.0	2.0