TOF-SIMS样品光学成像系统设计

• 作者: 刘敦一 包泽民 张玉海 王培智 田地 邱春玲 龙涛
• 来源期刊: 质谱学报
• 学科: 化学
• 关键词: 成像系统 Schwarzschild双反射系统 ZEMAX 飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 282-288
• 页数: 7页
• 分类号: TH84|O657.63
• 字数: 3712字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/zpxb.youxian.2015.0005

摘要

本研究为飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)设计了一种具有高空间分辨率的样品光学成像系统.该系统由一种改进的Schwarzschild双反射系统、45°反射镜、变焦镜头及CCD图像传感器构成.采用ZEMAX软件对传统Schwarzschild模型进行计算和改进,得出系统优化参数并进行仿真验证.仿真结果表明:系统最佳的成像分辨率达1 μm,极限分辨率为0.4 μm,RMS半径小于艾里斑直径,波像差满足瑞利判据,成像质量良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田地	吉林大学仪器科学与电气工程学院	94	882	13.0	26.0
2	邱春玲	吉林大学仪器科学与电气工程学院	40	186	7.0	12.0
3	刘敦一	中国地质科学院地质研究所北京离子探针中心	86	4092	31.0	63.0
4	王培智	吉林大学仪器科学与电气工程学院	8	18	3.0	4.0
5	龙涛	中国地质科学院地质研究所北京离子探针中心	29	121	5.0	10.0
6	包泽民	吉林大学仪器科学与电气工程学院	9	14	2.0	3.0
7	张玉海	中国地质科学院地质研究所北京离子探针中心	9	75	5.0	8.0